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it之家 3 月 5 日消息,日立当地时间 2 月 27 日称该企业已开发出了一种高灵敏度半导体缺陷检测技术, 可通过机器学习的辅助检出10nm 及更小尺寸的微缺陷 。这项技术已在二月末的 spie 先进光刻与图案化 2025 学术会议上展出。
随着对高性能芯片的需求不断增加,半导体制造商对生产中的质量控制愈发重视;而制程的微缩也意味着能直接影响性能的缺陷尺寸门槛逐渐降低,对缺陷检测灵敏度的要求进一步提升。日立的这一技术就是在该背景下应运而生的。
it之家了解到,日立的机器学习缺陷检测技术主要包含两大部分,即图像重建对比和过度检测抑制:
图像重建对比: 检测系统首先通过大量添加噪点的“人造”缺陷图像学习微缺陷的数据特征;实际使用时对扫描电镜照片尽量进行无缺陷版本重建,并对原始图像和重建图像进行对比,从而检出缺陷。
过度检测抑制: 由于先进半导体制程的微缩,差异化功能电路和缺陷在图像上的区别逐渐模糊,而机器学习检测系统可对电路布局进行分类,并根据电路特征调整灵敏度,可减少 90% 的过度检测。
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